1 简介

真空泵(beng)是(shi)一种旋转(zhuan)式变容真空泵(beng)须有(you)前级泵(beng)配(pei)合方可使用(yong)在(zai)较宽的压力范(fan)围内(nei)有(you)较大的抽(chou)(chou)速对被抽(chou)(chou)除气体中含有(you)灰尘和水蒸(zheng)汽不敏(min)感广泛用(yong)于(yu)冶金(jin)、化工(gong)、食品(pin)、电子(zi)镀膜(mo)等行业。[1]

2 特点

(1)在较宽的压(ya)力范围内有(you)较大的抽速；

(2)转(zhuan)子具有良好的几何对称(cheng)性，故(gu)振动小(xiao)，运转(zhuan)平稳。转(zhuan)子间及转(zhuan)子和壳体间均有间隙(xi)，不用(yong)润滑(hua)，摩(mo)擦损失小(xiao)，可(ke)大(da)大(da)降低(di)驱动功率，从(cong)而可(ke)实现较高(gao)转(zhuan)速；

(3)泵(beng)腔内无需用油(you)密封和润(run)滑，可(ke)减少(shao)油(you)蒸气对真(zhen)空系统(tong)的污染(ran)；

(4)泵腔内无(wu)(wu)压缩，无(wu)(wu)排气阀。结构简单、紧凑，对被(bei)抽(chou)气体(ti)中(zhong)的灰尘(chen)和(he)水蒸汽不(bu)敏感；

(5)压缩比较低，对氢气抽(chou)气效果差；

(6)转子表面为(wei)形状(zhuang)较为(wei)复(fu)杂的曲线柱面，加工和检(jian)查比较困(kun)难。

3 结构

（1） 泵总体(ti)结构型式

真(zhen)空泵的泵体的布置结(jie)构决定(ding)了(le)泵的总(zong)体结(jie)构。

立(li)式结构的进、排气(qi)口水平设置，装(zhuang)配(pei)和(he)连接管路(lu)都(dou)比较(jiao)方便(bian)。但泵(beng)的重心较(jiao)高(gao)，在高(gao)速运转(zhuan)时稳定性差，故(gu)这种型式多用于小泵(beng)。

卧式泵(beng)的(de)进(jin)气(qi)(qi)口(kou)在上，排(pai)(pai)气(qi)(qi)口(kou)在下(xia)。有时(shi)为了真(zhen)空系统管道安装连接(jie)(jie)方(fang)(fang)便(bian)，可将(jiang)排(pai)(pai)气(qi)(qi)口(kou)从水平方(fang)(fang)向接(jie)(jie)出(chu)，即进(jin)、排(pai)(pai)气(qi)(qi)方(fang)(fang)向是(shi)相互垂直的(de)。此时(shi)，排(pai)(pai)气(qi)(qi)口(kou)可以从左或右两个(ge)方(fang)(fang)向开口(kou)，除接(jie)(jie)排(pai)(pai)气(qi)(qi)管道一端(duan)外，另一端(duan)堵死或接(jie)(jie)旁通阀。这种(zhong)泵(beng)结构重心低，高速运转时(shi)稳定(ding)性好(hao)。一般大(da)、中型泵(beng)多采(cai)用(yong)此种(zhong)结构。

泵(beng)(beng)的两个转(zhuan)子轴与(yu)水平面垂直安装(zhuang)。这种结构装(zhuang)配间隙(xi)容易(yi)控制，转(zhuan)子装(zhuang)配方便(bian)，泵(beng)(beng)占地面积(ji)小。但(dan)泵(beng)(beng)重心较高(gao)且(qie)齿轮拆装(zhuang)不便(bian)，润滑机构也相对复(fu)杂(za)。

（2） 泵的传(chuan)动方式

真空泵(beng)的(de)(de)两个(ge)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)是通过(guo)一对(dui)(dui)高(gao)精度齿(chi)轮(lun)(lun)来实现其相对(dui)(dui)同(tong)步运(yun)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)的(de)(de)。主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)轴通过(guo)联(lian)轴器与电(dian)(dian)机联(lian)接。在传(chuan)动(dong)结构布(bu)置上(shang)(shang)主(zhu)(zhu)(zhu)要有(you)以下(xia)两种：其一是电(dian)(dian)动(dong)机与齿(chi)轮(lun)(lun)放在转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)的(de)(de)同(tong)一侧(ce)如图(tu)。从(cong)动(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)由电(dian)(dian)动(dong)机端齿(chi)轮(lun)(lun)直接传(chuan)过(guo)去带动(dong)，这(zhei)样主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)轴的(de)(de)扭转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)变形小，则两个(ge)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)之间的(de)(de)间隙(xi)不会因主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)轴的(de)(de)扭转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)变形大(da)而(er)改(gai)变，故使转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)之间的(de)(de)间隙(xi)在运(yun)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)过(guo)程(cheng)中均(jun)匀(yun)(yun)。这(zhei)种传(chuan)动(dong)方(fang)式(shi)的(de)(de)最大(da)缺(que)点是：a.主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)轴上(shang)(shang)有(you)三个(ge)轴承，增加了泵(beng)的(de)(de)加工(gong)和(he)(he)装(zhuang)配难度，齿(chi)轮(lun)(lun)的(de)(de)拆装(zhuang)及调(diao)整(zheng)也不便；b.整(zheng)体结构不匀(yun)(yun)称，泵(beng)的(de)(de)重心(xin)偏向(xiang)电(dian)(dian)动(dong)机和(he)(he)齿(chi)轮(lun)(lun)箱一侧(ce)。

    极限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”是(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)的(de)一(yi)个(ge)重要参数(shu)，是(shi)反应泵(beng)抽气(qi)能力(li)的(de)特性(xing)值(zhi)，是(shi)与(yu)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)相关(guan)的(de)一(yi)个(ge)数(shu)值(zhi)，不同(tong)的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)可以有不同(tong)的(de)“极限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”度(du)。而“理论真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”是(shi)理论研究时的(de)一(yi)个(ge)概念，是(shi)排除各(ge)种实际因素的(de)影响(xiang)而提炼(lian)出(chu)的(de)一(yi)种最理想的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)状态(tai)。真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容(rong)器(qi)(qi)经充分(fen)(fen)抽气(qi)后(hou)，稳(wen)定在某(mou)一(yi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)，此(ci)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)称为极限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)。通常真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容(rong)器(qi)(qi)须经12小时炼(lian)气(qi)，再经12小时抽真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)，最后(hou)一(yi)个(ge)小时每隔10分(fen)(fen)钟测量一(yi)次，取其10次的(de)平均值(zhi)为极限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)值(zhi)。